kaiyun.com-电工研究所研制成功国内首台可溯源计量型扫描电子显微镜

本文摘要：日前，电工研究所牵头中国计量科学院、国家纳米科学技术中心联合研制成功国内首套可本源计量型扫瞄电子显微镜。 电工所在高分辨力场升空扫瞄电子显微镜的基础上，安装激光干涉仪测距的纳米级高精度偏移台,并明确提出了使用Q扫瞄替换传统电子束扫瞄的图像提供的创意方法。该方法可必要关联图像扫瞄与激光干涉仪的方位测量，构建对样品纳米结构扫瞄光学的量值本源，有效地增加电子束扫瞄光学过程中缩放倍率波动和扫瞄线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而构建对样品纳米结构的本源测量。

日前，电工研究所牵头中国计量科学院、国家纳米科学技术中心联合研制成功国内首套可本源计量型扫瞄电子显微镜。　　电工所在高分辨力场升空扫瞄电子显微镜的基础上，安装激光干涉仪测距的纳米级高精度偏移台,并明确提出了使用Q扫瞄替换传统电子束扫瞄的图像提供的创意方法。该方法可必要关联图像扫瞄与激光干涉仪的方位测量，构建对样品纳米结构扫瞄光学的量值本源，有效地增加电子束扫瞄光学过程中缩放倍率波动和扫瞄线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而构建对样品纳米结构的本源测量。

　　该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制订、扫瞄电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参予国际长度核对等方面将起着最重要起到。

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